極紫外(EUV)光刻膠材料

          極紫外(EUV)光刻膠材料

          交易信息:
          完全轉(zhuǎn)讓-0.00 元
          技術(shù)領(lǐng)域:
          應(yīng)用領(lǐng)域:
          最后更新時(shí)間:2022-07-28 15:21
          所在地:
          吉林省 長(zhǎng)春市 南關(guān)區(qū)
          所有者:
          飆飆
          聯(lián)系方式:
          13756056562
          具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的EUV光刻膠的成功研發(fā),填補(bǔ)了我國(guó)在超高精細(xì)光刻膠研發(fā)領(lǐng)域的空白,將為擺脫國(guó)內(nèi)高檔光刻膠材料完全依賴(lài)進(jìn)口的格局,促進(jìn)我國(guó)集成電路制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展起到積極的促進(jìn)作用。在此工作的基礎(chǔ)上,以獲得的光刻膠主體材料為核心,通過(guò)配方和工藝研發(fā),實(shí)現(xiàn)了193nm曝光機(jī)光刻,為我國(guó)開(kāi)展193nm和193nm浸沒(méi)式光刻膠的研發(fā)打下了基礎(chǔ)。

          具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的EUV光刻膠的成功研發(fā),填補(bǔ)了我國(guó)在超高精細(xì)光刻膠研發(fā)領(lǐng)域的空白,將為擺脫國(guó)內(nèi)高檔光刻膠材料完全依賴(lài)進(jìn)口的格局,促進(jìn)我國(guó)集成電路制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展起到積極的促進(jìn)作用。在此工作的基礎(chǔ)上,以獲得的光刻膠主體材料為核心,通過(guò)配方和工藝研發(fā),實(shí)現(xiàn)了193nm曝光機(jī)光刻,為我國(guó)開(kāi)展193nm和193nm浸沒(méi)式光刻膠的研發(fā)打下了基礎(chǔ)。

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